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當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > > 氣體傳感器 > Gasboard-2060紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝
簡(jiǎn)要描述：紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
產(chǎn)品型號(hào)：Gasboard-2060廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新日期：2026-03-23訪(fǎng) 問(wèn) 量：2143產(chǎn)品分類(lèi)
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產(chǎn)品名稱(chēng)：紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號(hào)：Gasboard-2060
產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
產(chǎn)品特性
（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
（2）響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度
（3）無(wú)耗材
（4）模擬/數(shù)字通信
（5）模塊化設(shè)計(jì)，便于集成
技術(shù)參數(shù)
| 檢測(cè)原理 | NDIR |
| 檢測(cè)氣體 | SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復(fù)性 | ±0.5% |
| 線(xiàn)性 | ±1%F.S. |
| 檢測(cè)限 | 1ppm |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測(cè)
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