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氧氣分析儀

簡要描述:氧氣分析儀Gasboard-3053搭載高穩(wěn)定性的氧化鋯核心傳感器,覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測量。具有測量精度高、響應(yīng)時間快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn),可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域,為關(guān)鍵的過程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計,體積小巧,便于在復(fù)雜?況下安裝,同時配備直觀豐富的用戶界面,提供人機(jī)交互體驗(yàn)。

  • 產(chǎn)品型號:Gasboard-3053
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新日期:2026-02-04
  • 訪  問  量:572

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱:氧氣分析儀

產(chǎn)品型號:Gasboard-3053


產(chǎn)品概述

Gasboard-3053搭載高穩(wěn)定性的氧化鋯核心傳感器,覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測量。具有測量精度高、響應(yīng)時間快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn),可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域,為關(guān)鍵的過程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計,體積小巧,便于在復(fù)雜?況下安裝,同時配備直觀豐富的用戶界面,提供人機(jī)交互體驗(yàn)。


產(chǎn)品特性

測量精度?,ppm級別測量

響應(yīng)速度快,秒級出數(shù)

即插即??體化設(shè)計

內(nèi)置采樣泵與過濾系統(tǒng),安裝維護(hù)便捷

本地化端到端服務(wù)保障


應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體、LED等?產(chǎn)過程中氧濃度控制、惰性保護(hù)?體?產(chǎn)及焊接?藝中氧濃度監(jiān)測、空?分離加??藝中氧濃度測定、真空?套箱系統(tǒng)中氧含量的監(jiān)控


技術(shù)參數(shù)

微量-常量氧氣分析儀
功能性能需求檢測氣體O2
量程范圍0~10~100~1000ppm,0~25%,自動切換
檢出限0.5ppm
分辨率0.1ppm
準(zhǔn)確度/示值誤差/精度
ppm=氧分壓/當(dāng)前?作總壓)
≤±2%F.S. ±0.5ppm
以較大值為準(zhǔn)
響應(yīng)時間T90≤10s
預(yù)熱時間≤20min
零點(diǎn)漂移±0.5%F.S.
量程漂移±0.5%F.S.
重復(fù)性±0.5%F.S.
電氣結(jié)構(gòu)通訊協(xié)議RS-232,RS-485
氣路接口進(jìn)氣/出氣 1/4''VCR-F
結(jié)構(gòu)形式一體式
結(jié)構(gòu)尺寸(L*W*D210*134*300mm
環(huán)境要求傳感器(RSM)工作溫濕度溫度:0~50℃;濕度:0~95%RH,非冷凝
采樣流量0.5~1L/min傳感器內(nèi)設(shè)控流組件




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電子郵箱:cubic-ry56@gasanalyzer.com.cn

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